Dit document legt geschikte testprocessen vast om de reinheid van oppervlakken in cleanrooms te bepalen met betrekking tot de aanwezigheid van chemische verbindingen of elementen (waaronder moleculen, ionen, atomen en deeltjes). Dit document is van toepassing op alle vaste oppervlakken in cleanrooms en bijbehorende gecontroleerde omgevingen zoals muren, plafonds, vloeren, werkoppervlakken, gereedschappen, apparatuur en apparaten.
OPMERKING 1    Voor de doeleinden van dit document wordt alleen aandacht besteed aan de chemische eigenschappen van een deeltje. Er wordt geen rekening gehouden met de fysische eigenschappen van het deeltje en dit document behandelt de interactie tussen de verontreiniging en het oppervlak niet.
OPMERKING 2    Dit document omvat niet het proces van het ontstaan van verontreiniging of enige tijdsafhankelijke invloeden (bijv. afzetting, sedimentatie, veroudering) of procesafhankelijke activiteiten zoals transport en hantering. Het bevat evenmin richtlijnen voor technieken voor statistische kwaliteitscontrole om naleving te garanderen.