Geometrische productspecificaties (GPS) - Oppervlaktetextuur: Areal - Deel 607: Nominale kenmerken van contactloze (confocale microscopie) instrumenten (ISO 25178-607:2018)
Dit document beschrijft de invloedsgrootheden en instrumentkarakteristieken van confocale microscopiesystemen voor oppervlaktemetingen van oppervlaktetopografie. Omdat oppervlakteprofielen kunnen worden geëxtraheerd uit oppervlaktetopografische afbeeldingen, kunnen de in dit document beschreven methoden ook worden toegepast op profielmetingen.
View in